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關(guān)于類金剛石薄膜的詳細(xì)介紹

類金剛石薄膜一般被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。

類金剛石薄膜由碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方法,從而使其最終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以 sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和 sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。

類金剛石薄膜由兩個(gè)相同或不相同的原子軌道沿軌道對(duì)稱軸方向相互重疊而形成的共價(jià)鍵,叫做σ鍵。σ鍵是原子軌道沿軸方向重疊而形成的,具備較大的重疊程度,因此σ鍵相對(duì)穩(wěn)定。σ鍵是能圍繞對(duì)稱軸旋轉(zhuǎn),而不影響鍵的強(qiáng)度以及鍵跟鍵之間的角度(鍵角)。


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類金剛石薄膜根據(jù)分子軌道理論,兩個(gè)原子軌道充分接近后,能通過原子軌道的線性組合,形成兩個(gè)分子軌道。其中,能量低于原來原子軌道的分子軌道叫成鍵軌道,能量高于原來原子軌道的分子軌道叫反鍵軌道。

類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類 。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedral carbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer—like carbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時(shí)還結(jié)合一定數(shù)量的氫.

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